茂虹定制半导体晶圆用小型氮气低温等离子清洗机 plasma设备

是否支持加工定制

是

重量

50kg

腔体材质

不锈钢

进气气路数量

2路

冷却方式

风冷

等离子发生电源最大输出功率

300WW

等离子处理时间

0~999秒

等离子电源工作频率

13.56MHz

等离子发生电源工作功率

0~300W

自动控制PLC

西门子

品牌

茂虹